Технологія TFT була розроблена в 1990-х роках. Він використовує нові матеріали та нові процеси для широкомасштабної технології виробництва напівпровідникових інтегральних схем. Застосовується для рідкокристалічних (LC), неорганічних та органічних тонкоплівкових електролюмінесцентних (EL та OEL) дисплеїв. основою. TFT - це не окрема пластина, така як скляна або пластикова підкладка (звичайно, вона може бути і на пластині) за допомогою процесів розпилення та хімічного осадження з утворенням різних плівок, необхідних для виготовлення схем, та великих напівпровідникових інтегральних схем ) виготовляються обробкою плівок. . Використання некристалічних підкладок може значно знизити витрати і є продовженням традиційних великомасштабних інтегральних схем до великих, багатофункціональних та недорогих напрямків. Технічно складніше виготовити TFT, які контролюють ефективність комутації пікселів (LC або OLED) на скляних або пластикових підкладках великої площі, ніж виготовляти великомасштабні мікросхеми на кремнієвих пластинах. Вимоги до виробничого середовища (ступінь очищення становить 100), вимоги до чистоти сировини (чистота електронного спеціального газу становить 99,999985%), а також вимоги до виробничого обладнання та технології виробництва перевищують масштабну інтеграцію напівпровідників . Це вершина сучасного великого виробництва. технології. Основними його особливостями є:
(1) Велика площа: Перше покоління скляних підкладок із великою площею (300 мм × 400 мм) TFT-LCD виробнича лінія була запущена у виробництво на початку 1990-х. До першої половини 2000 р. Площа скляної підкладки була розширена до 680мм × 880мм), а розмір скляної підкладки становив 950мм × 1200мм. Скляна підкладка також буде введена в експлуатацію. В принципі, обмеження площі не існує.
(2) Висока інтеграція: 1,3-дюймовий TFT-чіп, що використовується для проекції рідких кристалів, має роздільну здатність XGA, що містить мільйони пікселів. Товщина плівки 16,1-дюймового TFT-масиву аморфного кремнію з роздільною здатністю SXGA (1280 × 1024) становить лише 50 нм, а технології TAB ON GLASS і SYSTEM ON GLASS, інтеграція його IC, вимоги до обладнання та технології постачання , і технічні труднощі Всі перевищують традиційні LSI.
(3) Потужні функції: TFT вперше був використаний як схема розташування матриці для поліпшення характеристик світлового клапана рідких кристалів. Для дисплеїв з високою роздільною здатністю завдяки регулюванню напруги в діапазоні від 0 до 6 В (як правило, від 0,2 до 4 В) досягається точне управління об'єктом, що дозволяє РК-дисплею досягти якісних та високоякісних дисплеїв. TFT-LCD - це перший в історії людства плоский дисплей, який за якістю перевищує ЕПТ. І люди починають інтегрувати мікросхему драйвера на скляну підкладку, і функція всього TFT буде потужнішою, що не має собі рівних за традиційними великомасштабними напівпровідниковими інтегральними схемами.
(4) Низька вартість: Скляна підкладка та пластикова підкладка принципово вирішують проблему витрат великих напівпровідникових інтегральних схем і відкривають широкий простір для застосування великих напівпровідникових інтегральних схем.
